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응용분야

MCT Series

갭 & 레벨링 도구 MCT 시리즈

샤워헤드 갭에 대한 서셉터는 최적의 균일성을 위해 공정 챔버의 점검 시 확인 및/또는 조정되어야 합니다. 다이얼 표시기를 사용하는 기존의 서셉터 레벨링 방법은 챔버가 열려있는 동안에만 사용할 수 있고 샤워 헤드가 챔버의 상단과 평행하다고 가정하기 때문에 배출로 인한 챔버 편향을 측정하지 않습니다. MCT 시리즈는 접촉식 거리 감지 및 무선 통신을 사용하여 밀폐 된 챔버 외부의 개인 컴퓨터에 간격 정보를 표시합니다.

Legacy Leveling tool

Msotek MCT-4000 gapping system

MCT Series 사양 비교 표

모델명/사양	MCT-1000	MCT-2000LT	MCT-2000HT	MCT-4000
작업온도	below 85℃	below 85℃	below 125℃	below 85℃
측정범위	780 ~ 980mils	780 ~ 980mils	780 ~ 980mils	550 ~ 750mils
유선/무선	유선	무선	무선	무선
Channel 수	General 5/5~9	General 5, 9 / 5~25	General 5, 9 / 5~25	3
Data Display	HMI	HMI	HMI	HMI / Computer
응용분야	CVD Chamber Big susceptor	CVD Chamber Bigger susceptor	CVD Chamber Bigger susceptor	CVD Chamber wafer size susceptor