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Glass Breakage Detector
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平坦度测量工具
MLL系列(光源发生器+探测器构成)
产品特征
无线类型
实时平坦度测量方式
自动零点校准
PDA数据收集
产品应用领域
半导体CVD 设备领域 平坦度测量
器具调平对齐领域
汽车配件平坦度管理
产品技术规格
光源头移方式 :
自动旋转
检测器线性化精度 :
±3.5um
PDA自动保存测量值