应用

间隙和水准测量工具MCT系列

每次维护舱室时必须检查和/或调整喷头间隙的感应器, 以获得最高的膜均匀性。 使用刻度盘指示器的传统感应器水准测量方法不能捕获由抽真空引起的舱室偏转, 因为它们只能在舱室打开时使用并且须假设喷头平行于舱室顶部。 MCT系列使用可触摸的距离感应和无线通讯在封闭和真空室外部的个人计算机上显示间隙信息。

传统水准测量工具

Msotek MCT-4000 间隙系统

MCT系列规格比较表。